TY  - BOOK
AU  - CHANG, C. Y.
AU  - SZE, S. M.
TI  - ULSI TECHNOLOGY
SN  - 0071141057
U1  - 621.395/CHA/SZE 
PY  - 1996///
CY  - NEW YORK.
PB  - MC GRAW HILL INTERNATIONAL, NEW YORK
ER  -